Produkte

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OEM-Lösungen, Module, Komponenten, ...

 

Ausgehend von einer Vielzahl an erfolgreichen Projekten und getrieben von den ständigen Kundenforderungen nach Qualitäts- und Produktivitätssteigerung bei gleichzeitiger Kostensenkung sowie einem Blick für Nischen und Marktlücken entwickelt die Adenso permanent eingene Produkte und Speziallösungen:

 

 

 

 

 WHR-VAC Wafer Handling Robot

 Wafer Handling Robot optimiert für höchste Tragfähigkeit, Präzision und Vakua.

Adenso_Wafer_Handling_Robot Video

 WHM-VAC Wafer Handling Module

 Handlingmodul bestehend aus einer zentralen Vakuumkammer mit integrierterm Wafer Handling Robot WHR-VAC.

Adenso_Wafer_Handling_Modul Video

 LLM - Load Lock Module

 Kassettenmodul zur Aufnahme von Substratcarriern für die Adaption an das Handlingmodul WHM-VAC.

 CPS 4 - Cluster Processing System

 Clustersystem mit 4 Prozess-Ports für den Einsatz in Forschung und Produktion.

 CPS 6 - Cluster Processing System

 Clustersystem mit 6 (...8) Prozess-Ports für den Einsatz in Forschung und Produktion.

 HSV - Highvacuum-Slide-Valves

 Kundenspezifische Hochvakuumventile in Schieberbauweise mit zahlreichen Optionen.

 HFV - Highvacuum-Flap-Valves

 Kundenspezifische Hochvakuumventile in Klappenbauweise mit zahlreichen Optionen.

 HUV - Highvacuum-Universal-Valves

 Spezialventile für den Einsatz im Hochvakuum,
 zumeist bestehend aus einer Kombination aus Klappen- und Schieberprinzipien.